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发明名称 METHOD FOR REMOVING CONTAMINANTS FROM A SURFACE
摘要
申请公布号 EP0294603(A3) 申请公布日期 1989.06.07
申请号 EP19880107500 申请日期 1988.05.10
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 COOPER, DOUGLAS WINSLOW;WOLFE, HENRY LEWIS;YEH, JAMES TIEN-CHEN
分类号 H05F3/04;B08B6/00;G11B5/84;G11B23/50;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):H05F3/04 主分类号 H05F3/04
代理机构 代理人
主权项
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