发明名称 PRODUCTION OF METALLIC NITRIDE AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH01145309(A) 申请公布日期 1989.06.07
申请号 JP19870299819 申请日期 1987.11.30
申请人 IDEMITSU PETROCHEM CO LTD 发明人 KAZAHAYA TOMIO;OKUYAMA KAZUHIRO
分类号 C01B21/06;C01B21/072 主分类号 C01B21/06
代理机构 代理人
主权项
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