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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01145819(A) 申请公布日期 1989.06.07
申请号 JP19870303699 申请日期 1987.12.01
申请人 TOYOTA AUTOM LOOM WORKS LTD 发明人 NISHIMUTA TAKESHI
分类号 H01L29/80;H01L21/316 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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