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发明名称 AETZMITTEL ZUR ERZEUGUNG VON MESA- UND GRABENSTRUKTUREN
摘要
申请公布号 DD268807(A1) 申请公布日期 1989.06.07
申请号 DD19880312982 申请日期 1988.02.17
申请人 VEB WERK F. FERNSEHELEKTRONIK,DD 发明人 KEPPEL,PETER,DD;KLOTH,BERND,DD;FAIT,MARTIN,DD;SZUSZINSKI,KURT,DD
分类号 C23F1/30;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/308 主分类号 C23F1/30
代理机构 代理人
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