| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04109625(A) |
申请公布日期 |
1992.04.10 |
| 申请号 |
JP19900227734 |
申请日期 |
1990.08.29 |
| 申请人 |
NEC IC MICROCOMPUT SYST LTD |
发明人 |
ISHIHARA KUNIYASU |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
