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发明名称 PROBE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01143983(A) 申请公布日期 1989.06.06
申请号 JP19870303763 申请日期 1987.11.30
申请人 TERU KYUSHU KK 发明人 HONCHI YOICHI;NISHI MITSUO;TAJIMA KAZUMITSU
分类号 G01R31/26;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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