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发明名称 Method for forming a deposited film
摘要
申请公布号 US4837048(A) 申请公布日期 1989.06.06
申请号 US19860920189 申请日期 1986.10.17
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 ISHIHARA, SHUNICHI;HANNA, JUN-ICHI;SHIMIZU, ISAMU
分类号 C23C16/22;C23C16/452;H01L21/205 主分类号 C23C16/22
代理机构 代理人
主权项
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