| 发明名称 |
MANUFACTURING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01144639(A) |
申请公布日期 |
1989.06.06 |
| 申请号 |
JP19870303691 |
申请日期 |
1987.11.30 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
YAMAUCHI TOSHIHARU;MORITA YUTAKA;TANAKA MINORU;SAKAMOTO KENICHIRO |
| 分类号 |
H01L21/56;H01L21/52;H01L21/60 |
主分类号 |
H01L21/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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