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发明名称 INSPECTION INSTRUMENT FOR FLAT OBJECT
摘要
申请公布号 JPH01143976(A) 申请公布日期 1989.06.06
申请号 JP19870302935 申请日期 1987.11.30
申请人 NIKON CORP 发明人 YOSHIKAWA KUNIYUKI;HONMA SOUTA;OTA TOSHIYA;ISHIKAWA AIICHI;MAEKAWA KAZUHIRO
分类号 G01R31/00;H01L21/66 主分类号 G01R31/00
代理机构 代理人
主权项
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