发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH01144665(A) |
申请公布日期 |
1989.06.06 |
申请号 |
JP19870304340 |
申请日期 |
1987.11.30 |
申请人 |
NIPPON DENSO CO LTD |
发明人 |
FUJII TETSUO;AZEYANAGI SUSUMU;TSUZUKI YUKIO |
分类号 |
H01L21/762;H01L21/20;H01L21/336;H01L21/76;H01L27/00;H01L27/088;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/762 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|