| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01144624(A) |
申请公布日期 |
1989.06.06 |
| 申请号 |
JP19870304208 |
申请日期 |
1987.11.30 |
| 申请人 |
DAIDO SANSO KK |
发明人 |
YOSHINO AKIRA;OMORI NOBUNORI;OKUMURA KENJI |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/80;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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