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发明名称 HIGH-FREQUENCY INDUCTION-COUPLED PLASMA ANALYZER
摘要
申请公布号 JPH01144551(A) 申请公布日期 1989.06.06
申请号 JP19870301941 申请日期 1987.11.30
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 SAKATA KENICHI
分类号 G01N27/62;H01J37/06;H01J49/34 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
主权项
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