| 发明名称 |
INSPECTING METHOD FOR CLEANLINESS OF TOP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01143943(A) |
申请公布日期 |
1989.06.06 |
| 申请号 |
JP19870303563 |
申请日期 |
1987.11.30 |
| 申请人 |
KANEBO LTD |
发明人 |
ITOU YASUTOSHI;NAKAMURA KOJI;ITO FUMIAKI;TAKAYAMA SHINICHI |
| 分类号 |
G01N21/88;D06H3/08;G01N21/89;G01N21/892;G01N21/94 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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