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发明名称 PLASMA CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01144618(A) 申请公布日期 1989.06.06
申请号 JP19870302741 申请日期 1987.11.30
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 MURATA MASAYOSHI;YAMAMOTO TAKASHI;KANEKO SHOZO;ICHINARI JOJI;TAKADA JIRO
分类号 C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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