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发明名称 MANUFACTURE OF INSULATING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH01143221(A) 申请公布日期 1989.06.05
申请号 JP19870300944 申请日期 1987.11.27
申请人 NEC CORP 发明人 ISHIKO MASAYASU;NUNOMURA KEIJI
分类号 H01L21/314;C23C16/30;C23C16/44;C23C16/455 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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