发明名称 PRODUCTION OF MULTIDOPED FZ SINGLE CRYSTAL ROD
摘要
申请公布号 JPH05286792(A) 申请公布日期 1993.11.02
申请号 JP19920113092 申请日期 1992.04.06
申请人 SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD 发明人 WATANABE MASATAKA;MACHIDA EIICHI
分类号 C30B13/12;C30B13/28;(IPC1-7):C30B13/12 主分类号 C30B13/12
代理机构 代理人
主权项
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