发明名称 |
PRODUCTION OF MULTIDOPED FZ SINGLE CRYSTAL ROD |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH05286792(A) |
申请公布日期 |
1993.11.02 |
申请号 |
JP19920113092 |
申请日期 |
1992.04.06 |
申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
WATANABE MASATAKA;MACHIDA EIICHI |
分类号 |
C30B13/12;C30B13/28;(IPC1-7):C30B13/12 |
主分类号 |
C30B13/12 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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