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经营范围
发明名称
IC TESTING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01141381(A)
申请公布日期
1989.06.02
申请号
JP19870301231
申请日期
1987.11.27
申请人
ADVANTEST CORP
发明人
SUGA TOSHIAKI;FURUKAWA YASUO
分类号
H01L21/66;G01R31/28
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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