发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01140772(A) 申请公布日期 1989.06.01
申请号 JP19870297574 申请日期 1987.11.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 MATSUO HITOSHI;PIITAA MOORISU RII;MASUDA HIROO;TOYABE TATSU
分类号 H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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