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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01140749(A)
申请公布日期
1989.06.01
申请号
JP19870297584
申请日期
1987.11.27
申请人
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP
发明人
SHOJI TAKASHI
分类号
H01L23/34;H01L23/46;H01L23/467;H01L23/473
主分类号
H01L23/34
代理机构
代理人
主权项
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