CLEANING AND DRYING OF OBJECT,申请号JP19870299278-传众专利搜索

发明名称	CLEANING AND DRYING OF OBJECT
摘要
申请公布号	JPH01140728(A)	申请公布日期	1989.06.01
申请号	JP19870299278	申请日期	1987.11.27
申请人	HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD	发明人	TAKAGAKI TETSUYA;SAKURAI TOSHIHIKO;MIZOGAMI KAZUAKI;SASAKI AKIRA
分类号	H01L21/304;B08B3/08	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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