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发明名称 FORMATION OF PATTERN
摘要
申请公布号 JPH01140718(A) 申请公布日期 1989.06.01
申请号 JP19870297539 申请日期 1987.11.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 FUKUDA HIROSHI;SUGA OSAMU;OKAZAKI SHINJI;HASEGAWA NORIO;TANAKA TOSHIHIKO
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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