APPARATUS FOR INSPECTING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT,申请号JP19870297511-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS FOR INSPECTING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号	JPH01140078(A)	申请公布日期	1989.06.01
申请号	JP19870297511	申请日期	1987.11.27
申请人	HITACHI LTD	发明人	HIRAISHI AKIHIKO;NAKAMURA KOJI
分类号	G01R31/26	主分类号	G01R31/26
代理机构		代理人
主权项
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