发明名称 SUPERCONDUCTING INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH01140745(A) 申请公布日期 1989.06.01
申请号 JP19870297569 申请日期 1987.11.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 NISHINO JUICHI;KAWABE USHIO
分类号 H01L21/3205;H01L23/52;H01L39/06 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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