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发明名称 HALBLEITERSPEICHEREINRICHTUNG UND HERSTELLUNGSVERFAHREN
摘要
申请公布号 DE3835692(A1) 申请公布日期 1989.06.01
申请号 DE19883835692 申请日期 1988.10.20
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SATOH, SHINICHI, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 H01L27/10;H01L21/334;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/108 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
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