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发明名称 PLASMA ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0661182(A) 申请公布日期 1994.03.04
申请号 JP19920214257 申请日期 1992.08.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 FUJIWARA NOBUO;MARUYAMA TAKAHIRO;KAWAI KENJI;HOSHIKO TAKAHIRO
分类号 C23F4/00;H01J37/02;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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