发明名称 CLEANING OF SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH01140727(A) 申请公布日期 1989.06.01
申请号 JP19870300492 申请日期 1987.11.27
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 HAYASHI EIICHIRO;AEBA MASAHIRO
分类号 B08B3/08;B08B3/10;H01L21/304 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
主权项
地址