| 发明名称 |
STAINLESS STEEL MEMBER FOR CLEAN ROOM AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0762520(A) |
申请公布日期 |
1995.03.07 |
| 申请号 |
JP19930209103 |
申请日期 |
1993.08.24 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL IND LTD |
发明人 |
AZUMA SHIGEKI;YAMANAKA KAZUO |
| 分类号 |
C23C8/18;C23C8/12;H01L21/02;(IPC1-7):C23C8/18 |
主分类号 |
C23C8/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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