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发明名称 Chemical vapour deposition apparatus incorporating demountable filter
摘要
申请公布号 GB2210062(A) 申请公布日期 1989.06.01
申请号 GB19870022081 申请日期 1987.09.19
申请人 * STC PLC 发明人 EDWARD JOHN * THRUSH;JOSEPH MARK * TRIGG
分类号 C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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