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发明名称 CONVEYOR
摘要
申请公布号 JPH01139412(A) 申请公布日期 1989.05.31
申请号 JP19870299290 申请日期 1987.11.26
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 NINOMIYA KATSUSHIGE
分类号 B65G27/16 主分类号 B65G27/16
代理机构 代理人
主权项
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