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发明名称 FORMATION OF VERY FINE ELECTRODE
摘要
申请公布号 JPH01138761(A) 申请公布日期 1989.05.31
申请号 JP19870296004 申请日期 1987.11.26
申请人 NEC CORP 发明人 SAMOTO NORIHIKO
分类号 H01L21/302;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/338;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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