| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0193117(A3) |
申请公布日期 |
1989.05.31 |
| 申请号 |
EP19860102226 |
申请日期 |
1986.02.20 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
NAKAHARA, MORIYA C/O PATENT DIVISION |
| 分类号 |
H01L21/033;H01L21/265;H01L21/3215;H01L21/336;H01L29/10;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/265 |
主分类号 |
H01L21/033 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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