发明名称 ION IMPLANTER
摘要
申请公布号 JPH01137549(A) 申请公布日期 1989.05.30
申请号 JP19870297117 申请日期 1987.11.24
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 KAWAI TEI
分类号 H01J27/02;H01J37/317;H05H9/00 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
主权项
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