| 发明名称 |
FOCUSED ENERGY BEAM PROCESSING DEVICE AND PROCESSING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01137547(A) |
申请公布日期 |
1989.05.30 |
| 申请号 |
JP19870295213 |
申请日期 |
1987.11.25 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HARAICHI SATOSHI;HONGO MIKIO;ITO FUMIKAZU;SHIMASE AKIRA;MIZUKOSHI KATSURO |
| 分类号 |
H01J37/317;H01J37/22;H01J37/305 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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