发明名称 |
SURFACE DEFECT INSPECTION DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH01137642(A) |
申请公布日期 |
1989.05.30 |
申请号 |
JP19870296818 |
申请日期 |
1987.11.25 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
INOUE HIROSHI;ONO AKIRA;GOTO YUKIHIRO |
分类号 |
G01N21/88;G01N21/956;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/88 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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