| 发明名称 |
METHOD FOR CLEANING PLASMA CVD APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01136970(A) |
申请公布日期 |
1989.05.30 |
| 申请号 |
JP19870294351 |
申请日期 |
1987.11.20 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
ONISHI YOICHI;TAKEBAYASHI MIKIO;KIMURA TADASHI |
| 分类号 |
C23C16/44;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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