Neutral sputtered films of metal alloy oxides,申请号US19880176563-传众专利搜索

发明名称	Neutral sputtered films of metal alloy oxides
摘要
申请公布号	US4834857(A)	申请公布日期	1989.05.30
申请号	US19880176563	申请日期	1988.04.01
申请人	PPG INDUSTRIES, INC.	发明人	GILLERY, F. HOWARD
分类号	G02B1/11;C03C17/36;C23C14/06;G02B1/10;H01L21/203;H01S3/08	主分类号	G02B1/11
代理机构		代理人
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