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经营范围
发明名称
HEAT TREATMENT OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号
JPH01137623(A)
申请公布日期
1989.05.30
申请号
JP19870296414
申请日期
1987.11.25
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
TAKEYAMA ITSURO
分类号
H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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