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发明名称 Apparatus and method for detecting spot defects in integrated circuits
摘要
申请公布号 US4835466(A) 申请公布日期 1989.05.30
申请号 US19870011729 申请日期 1987.02.06
申请人 FAIRCHILD SEMICONDUCTOR CORPORATION 发明人 MALY, WOJCIECH;THOMAS, MICHAEL E.
分类号 H01L21/66;G01R27/14;G01R31/02 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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