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发明名称 HERSTELLUNGSVERFAHREN EINER MIKROPUMPE
摘要
申请公布号 AT146853(T) 申请公布日期 1997.01.15
申请号 AT19940107419T 申请日期 1994.05.13
申请人 FONDATION POUR LE SOUTIEN A LA RECHERCHE APPLIQUEE ET ORIENTEE (FSRAO) 发明人 DE ROOIJ, NICOLAAS FRANS;JEANNERET, SYLVAIN;GASS, VOLKER;VAN DER SCHOOT, BART
分类号 A61J3/00;A61M1/14;F04B43/04;H01L21/306;(IPC1-7):F04B43/04 主分类号 A61J3/00
代理机构 代理人
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