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发明名称 Adaptive lithography system to provide high density interconnect
摘要
申请公布号 US4835704(A) 申请公布日期 1989.05.30
申请号 US19860947461 申请日期 1986.12.29
申请人 GENERAL ELECTRIC COMPANY 发明人 EICHELBERGER, CHARLES W.;WOJNAROWSKI, ROBERT J.;WELLES, II, KENNETH B.
分类号 G03F1/00;G03F1/08;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/3213;H01L21/60;H01L21/768;H01L21/82;H01L23/538;H05K3/00 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
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