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发明名称 Force transducer
摘要
申请公布号 US4833929(A) 申请公布日期 1989.05.30
申请号 US19880224764 申请日期 1988.07.27
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOYOTA CHUO KENKYUSHO 发明人 OMURA, YOSHITERU;KAWAGUCHI, KAZUYOSHI;TSUKADA, KOUJI;SUGIYAMA, SUSUMU;HAYASHI, SADAYUKI;MATSUI, MASAYUKI
分类号 H01L29/84;G01L1/16;G01L1/18 主分类号 H01L29/84
代理机构 代理人
主权项
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