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经营范围
发明名称
PRODUCTION OF THIN BORON NITRIDE FILM
摘要
申请公布号
JPH01136963(A)
申请公布日期
1989.05.30
申请号
JP19870293257
申请日期
1987.11.20
申请人
OLYMPUS OPTICAL CO LTD
发明人
KATASHIRO MASAHIRO
分类号
C23C14/46;C23C14/06
主分类号
C23C14/46
代理机构
代理人
主权项
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