发明名称 PRODUCTION OF THIN BORON NITRIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH01136963(A) 申请公布日期 1989.05.30
申请号 JP19870293257 申请日期 1987.11.20
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 KATASHIRO MASAHIRO
分类号 C23C14/46;C23C14/06 主分类号 C23C14/46
代理机构 代理人
主权项
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