申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH, 70469 STUTTGART, DE;MICROPARTS GESELLSCHAFT FUER MIKROSTRUKTURTECHNIK MBH, 44227 DORTMUND, DE |
发明人 |
ZABLER, ERICH, D-76297 STUTENSEE, DE;UHLER, WERNER, D-76646 BRUCHSAL, DE;BAUMANN, ANDREAS, D-76275 ETTLINGEN, DE;EICHER, JOACHIM, D-76185 KARLSRUHE, DE;PETERS, RALF-PETER, D-51467 BERGISCH GLADBACH, DE |