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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01135016(A) 申请公布日期 1989.05.26
申请号 JP19870293302 申请日期 1987.11.20
申请人 NEC CORP 发明人 YAMAMOTO YUICHI
分类号 H01L21/225;H01L21/22 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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