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发明名称 WAFER RETAINING JIG FOR HEAT-TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01134915(A) 申请公布日期 1989.05.26
申请号 JP19870291760 申请日期 1987.11.20
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ANRAKU KAZUHIRO
分类号 H01L21/26;H01L21/22;H01L21/31 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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