MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT,申请号JP19870292420-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号	JPH01133343(A)	申请公布日期	1989.05.25
申请号	JP19870292420	申请日期	1987.11.19
申请人	SANYO ELECTRIC CO LTD	发明人	TAKEDA KAZUO;ITO NOBUO
分类号	H01L21/265;H01L21/331;H01L21/822;H01L21/8222;H01L27/04;H01L27/06;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/732	主分类号	H01L21/265
代理机构		代理人
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