发明名称 HARD CARBON FILM-COATED METALLIC SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH01132779(A) 申请公布日期 1989.05.25
申请号 JP19870290416 申请日期 1987.11.17
申请人 NIKON CORP 发明人 SUGIMURA HIROYUKI;ITAGAKI MAKOTO
分类号 C23C16/26;C23C14/06;C23C28/00;C23C28/04 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
主权项
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