发明名称 |
HARD CARBON FILM-COATED METALLIC SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH01132779(A) |
申请公布日期 |
1989.05.25 |
申请号 |
JP19870290416 |
申请日期 |
1987.11.17 |
申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
SUGIMURA HIROYUKI;ITAGAKI MAKOTO |
分类号 |
C23C16/26;C23C14/06;C23C28/00;C23C28/04 |
主分类号 |
C23C16/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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