发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING DEPTH OF FINE GROOVE
摘要
申请公布号 JPH01132906(A) 申请公布日期 1989.05.25
申请号 JP19870291231 申请日期 1987.11.18
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 TAKADA KAZUMASA;NODA JUICHI
分类号 G01B11/22 主分类号 G01B11/22
代理机构 代理人
主权项
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