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发明名称 SCANNING DEVICE FOR SCANNING TUNNEL MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH01131402(A) 申请公布日期 1989.05.24
申请号 JP19870290362 申请日期 1987.11.17
申请人 JEOL LTD 发明人 OI KORO
分类号 G01N23/00;G01B7/34;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q60/10 主分类号 G01N23/00
代理机构 代理人
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