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发明名称
VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01132119(A)
申请公布日期
1989.05.24
申请号
JP19870260844
申请日期
1987.10.16
申请人
NEC CORP
发明人
KAMIJO ATSUSHI
分类号
C23C14/24;F16F15/28;H01F7/06;H01L21/203
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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